精密无尘烤箱
基本信息
本机简介:
内尺寸:W600*D500*H600/ W600*D500*H900mm
外尺寸:W1060*D1240*H1550/ W1060*D1240*H1850mm
温度范围:50-200℃ 30MIN
均匀性:±1.5%(空 载测试)
内箱材质:SUS304#镜面不锈钢
外箱材质:SST41#钢板经防锈处理后高温粉体烤漆
电热:(SHEATHED HEATER)无尘化电热发生器
配备:HEPAFilter. 压差计、流量计
洁净度:Class100#, FED-STD-209E洁争等级标准
进气量:N2或Clean Air MAX: 25 l/min
应用:LCD、CMOS、IC制程烘烤
保护装置:超温防止器、马达过电流保护、控制线路保险丝.无熔丝开关、所有电气配件皆采用符合国家标准之正厂一级产品。
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